Způsob přípravy dvou a tří rozměrných objektů z pevných látek pomocí elektronového svazku

To chci

Způsob přípravy dvou nebo tří rozměrných objektů z pevných látek řízeným přesunem hmoty spojovaných materiálů pomocí elektronového svazku ve směru k tomuto elektronovému svazku zahrnuje kroky: připraví se pevný substrát, definuje se oblast pro expozici elektronovým paprskem, určí se rozměr elektronového svazku, urychlovací napětí a proud, provede se expozice substrátu alespoň jedním elektronovým svazkem. Doba expozice je úměrná požadovanému objemovému růstu dvou nebo tří rozměrných objektů. Elektronový svazek se pohybuje v opakujícím se rastrovacím vzoru exponované oblasti. Modulace elektronového svazku se provede elektronovou optikou. Substrátem je krystalická látka nebo sklo nebo keramika. Urychlovací napětí je v rozsahu 0,1 až 10 kV. … celý popis

Podrobná bibliografie

Hlavní autor:

Vysoké Učení Technické V Brně

Další autoři:

David Salamon
Vít Jan
Tomáš Benda

Typ dokumentu:

Patenty a užitné vzory Patentové spisy

Rozsah:

1 patentový spis

Vydáno:

Praha : Úřad průmyslového vlastnictví, 2019

Témata:

postupy nebo zařízení speciálně upravené pro výrobu nebo zpracování mikrostrukturálních přístrojů nebo systémů

patentové spisy

Popis jednotky:

Číslo dokumentu: 307593
Datum udělení patentu: 2. 1. 2019
Číslo přihlášky: 2015-325
Datum přihlášení: 14. 5. 2015

Fyzický popis:

1 patentový spis

Mezinárodní patentové třídění:

B81C 1/00
B82Y 40/00
H01J 37/30